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品牌：RST，產(chǎn)品型號：RST5070F、RST5210F

在RST系列電化學工作站中，型號為RST5070F和RST5210F的電化學工作站具有四探針電阻率測試方法。四探針電阻率測試方法是檢驗和分析導體和半導體材料質量的一種重要的工具，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校及各類科研部門。

該測試方法與電化學工作站中的其他方法一樣，軟件界面友好、參數(shù)設置簡單明了。啟動測試后，儀器按設定的參數(shù)自動連續(xù)采集數(shù)據(jù)，在屏幕上實時顯示電阻-時間曲線。測試結束后，根據(jù)電阻形態(tài)參數(shù)自動換算成電阻率及電導率，無需人工計算。配備的專用電化學工作站軟件在電腦上運行，可隨時顯示、保存、打印數(shù)據(jù)和圖形，以備存查。

本方法的設置參數(shù)有：電阻形態(tài)及尺寸、探針形狀及間距、激勵電流及可測電阻范圍、預熱時間、樣點間隔、樣點數(shù)量、被測器件電動勢等。

測試工具可根據(jù)被測產(chǎn)品及測試項目的要求選購，配置不同的測試工具可滿足不同材料的測試要求。

本儀器的四探針電阻率測量方法適用于分立電阻、線狀電阻、面狀電阻、塊狀電阻、直流器件內阻。也就是說，可測量導體及半導體材料的軸向電阻率、徑向電阻率、擴散層薄膜電阻率。本儀器具有自動電位扣除功能，因此可測量含源直流器件內阻。

100MΩ

1Ω圖

1mΩ圖

0.1mΩ圖

參數(shù)及技術指標：

1. 電阻形態(tài)：分立電阻、線狀電阻、面狀電阻、塊狀電阻、直流器件內阻。

2. 電阻范圍：0.1mΩ～1GΩ

3. 電阻率范圍：10-6～106Ωcm

4. 激勵電流范圍：10nA、100nA、1μA，10μA，100μA，

1mA，10mA，100 mA、200 mA、500 mA

5. 電流精度：±0.1%量程

6. 電阻精度：≤0.3%量程

7. 顯示數(shù)據(jù)：電阻、電阻率、電導率、電流、電壓、探針形狀、探針間距、材料尺寸 。

8. 測試方式：恒電流多脈沖電阻時間曲線

9. 被測器件電動勢：無源或者E＜5mV，E＜1.5V，E＜4.5V，E＜9.5V。

10. 工作電源：AC 220V±10% ，50Hz， 功 耗<50W。

11. 整機不確定性誤差：≤4%（標準樣片結果）

12. 選購：（a）方形探頭；（b）直線形探頭；（c）測試平臺。

13.探針材質選購：（a）碳化鎢針；（b）白鋼針；（c）鍍金磷銅半球形針。